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分體式勻膠機(jī) SC100-SR

更新時(shí)間:2019-03-27  |  點(diǎn)擊率:819

分體式勻膠機(jī) 型號(hào):SC100-SR
  SC100-SR精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。 
  SC100-SR是一種主機(jī)和觸摸屏分開的分體式勻膠機(jī),主機(jī)被設(shè)計(jì)為更小安裝尺寸或臺(tái)面嵌入式安裝來降低操作高度。SC100-SR可與手套箱配套進(jìn)行嵌入式安裝,控制盒放置在臺(tái)面上方便移動(dòng)。 

主要性能指標(biāo): 
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)  
旋涂程序:可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可到0.1秒  
轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-10,000rpm(更高速可選)  
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)  
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm  
工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圓晶)  
旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量) 
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn): 
新的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。  
可進(jìn)行嵌入式安裝,降低操作高度。  

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。  
Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。  
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。  
采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。  
機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。  
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。  
透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發(fā)。

 

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